國家實驗研究院儀器科技研究中心於今(21)日舉辦「半導體先進製程及設備研發聯盟交流會」。交流會邀請國內半導體曝光設備研發與製程領域之學研專家與國內外半導體領域業界專家,一同見證國研院研發之半導體曝光機投影鏡頭、大口徑光學鏡片及精密光學元件、原子層蝕刻∕沉積等技術,及先進封裝製程平台之發展成果,此成果將成為台灣發展半導體產業發展最佳的基礎與後盾。
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國家實驗研究院儀器科技研究中心於今(21)日舉辦「半導體先進製程及設備研發聯盟交流會」。交流會邀請國內半導體曝光設備研發與製程領域之學研專家與國內外半導體領域業界專家,一同見證國研院研發之半導體曝光機投影鏡頭、大口徑光學鏡片及精密光學元件、原子層蝕刻∕沉積等技術,及先進封裝製程平台之發展成果,此成果將成為台灣發展半導體產業發展最佳的基礎與後盾。