國家實驗研究院儀器科技研究中心累積40多年光學與真空技術能量，於會場「K2184」攤位展示已通過半導體製程實際驗證之曝光機關鍵零組件，並展現原子層沉積技術的自主研發成果與客製服務績效。
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