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中央大學 全國唯一MOCVD系統整合中心

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國立中央大學發展光電半導體產業設備研究,28日發表MOCVD磊晶機台系統四項開發改良的重要關鍵技術,為全國唯一的MOCVD系統整合中心。

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中央大學研究團隊開發一套MOCVD可視化腔體設備,結合關鍵技術,達到整合系統。

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國立中央大學28日舉辦「MOCVD設備技術工作坊」,發表研究團隊所掌握的MOCVD磊晶機台系統四項重要關鍵技術,可進行設備改良、製程整合,進而開發台灣自製的中大尺寸與高均勻度鍍膜機台,成為全國唯一的MOCVD系統整合中心。...

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