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2024台灣持續改善競賽TCIA 台積電EBO光罩領航圈 榮獲金塔5星獎暨最佳改善創新獎

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台積電電子束作業處(EBO)在光罩技術領域取得里程碑式的雙重突破。這些創新不僅延長光罩使用壽命,還開創性地推出全球首台EUV光罩檢測機台,進一步鞏固台積電在全球半導體市場的領先地位。


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