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微影 打造無毒低碳黃光生產平台 增添設備本土化動能

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半導體技術在現代科技中具有舉足輕重的地位,市場上引領風潮的AI、電動車、5G通訊、低軌衛星等產業都有它的身影,隨著ESG的意識抬頭,讓製程技術朝向更高精度和能源效率發展,作為半導體製程核心技術的光學曝光系統,正面臨著新的挑戰與機遇。台灣企業微影半導體以創新的LED光源投影曝光機,強調無毒低碳節能的黃光生產平台,為半導體設備本土化開啟嶄新的一頁。


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