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Pilz自動化系統 提升氫氣應用的安全

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臺灣半導體產業蓬勃發展,製程中要使用大量氫氣作為還原劑,保護避免內部材料氧化,因此無論是極紫外光微影製程(EUV)、矽磊晶、有機金屬化學氣相沉積(MOCVD),都相當耗氫。為此皮爾磁(Pilz) 推出


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