台積電晶圓三廠 (F3)與電子束作業處 (EBO)攜手開發自製EUV光罩護膜，從設計、製造、測試，一路克服重重困難，秉持專注細節和勇於創新的精神，本次競賽更額外獲得「最佳改善創新獎」殊榮。
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