德揚以優越的UV曝光源的光學路徑設計,加上採用優良UV鏡及透鏡元件,曝光機精度達到1um。德揚握有機構設計能力,以自製UV LED曝光源取代汞燈曝光源,具有省能源、無汞特點。與汞燈曝光源設計相近,以透鏡組取代橢圓鏡收光,保留均勻化與平行光設計、氣冷散熱性佳。
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德揚以優越的UV曝光源的光學路徑設計,加上採用優良UV鏡及透鏡元件,曝光機精度達到1um。德揚握有機構設計能力,以自製UV LED曝光源取代汞燈曝光源,具有省能源、無汞特點。與汞燈曝光源設計相近,以透鏡組取代橢圓鏡收光,保留均勻化與平行光設計、氣冷散熱性佳。