HBS全自動晶圓混合鍵合系統是集結自動化、集成度高的鍵合設備，其中多功能模塊，包含Plasma、cleaning unit、IR unit等單元，可實現設備客製化，鍵合精度達到300nm以上，可對應各種晶圓尺寸 ，實現在室溫直接鍵合製程。
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