$ 0 0 在Hybrid Bonder方面,開發已經進入第3年,相關專利部署已達20件,包括對位方法、6面清洗和專利貼合波...等,目前驗證的精度能力已達±0.2um。梭特除了預計推出單台的超高精度固晶設備(DB-20),也將針對不同客戶的需求,推出一系列Hybrid Bonding的製程設備。