半導體進入10奈米新時代，在技術「小還要更小」的嚴謹製程要求下，任何不該出現的微粒髒污，都可能是良率的致命傷，因此，業者都在追求更高的潔淨度上費盡心思。...
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經濟日報：不僅新聞速度 更有脈絡深度
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