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儀科中心攜手天虹 打造12吋叢集式ALD設備

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台灣的半導體產業在國際上具有重要地位,同時也是政府六大核心戰略產業發展重點之一。

國研院儀科中心與國內半導體設備供應商天虹科技公司合作,挑戰半導體關鍵製程設備掌握於國外設備商的硬仗,以「原子層沉積技


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