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半導體產業爭霸賽的關鍵仍在光學技術

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近日荷蘭政府根據瓦森納國際協議(Wassenaar Arrangement)禁止ASML公司向中國出口極紫外光刻機(Extreme Ultraviolet, EUV Lithography)。中國大陸駐荷蘭大使反嗆要以中荷關係作要脅,要求荷蘭政府取消禁令。美國處心積慮擬聯合整個西方國家來圍堵中國大陸科技的發展,所以荷蘭政府此舉明顯是迫於美國壓力。光刻是半導體製程中最重要的設備;全球又僅有ASML能提供最高端的光刻設備。所以美國要求荷蘭政府禁止ASML向中國大陸輸出這設備,可謂掐住了中國大陸半導體產業的咽喉。而從技術的角度來看,半導體產業爭霸賽的關鍵可謂是光刻設備所賴的光學技術。此光學技術又有賴基礎科學與光學工藝。


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