晶圓、光罩、玻璃自動化儲存傳載專業製造商中勤實業，正式對外宣布與美商微電子產業特種化學品及材料解決方案的領導者英特格（Entegris）專利技術合作，獲得RSP自動化光罩盒的技術授權。
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