在高潔淨度的半導體廠無塵室，存在許多看不見甚至聞不到的氣體懸浮物質（AMC），卻是影響良率的殺手。隨著半導體新世代製程演進，環境潔淨度標準一再升級，也成為供應商的一大挑戰。
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