以如何使低介電材料(Low-k)，不因電子束的照射導致縮小、變形為例，一般分析業者不外乎減少電子束照射能量與提升樣品強度兩樣方式，而汎銓研發團隊擁有獨步全球的技術，製備低介質材料樣品的收縮比例達到業界最好
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