半導體製程使用多種酸鹼腐蝕性、有毒性及易燃氣體，為符合公安及環保法規要求，通常採取一台對一台的單點式設計，以確保處置妥善率。莘湜科技（CSKT Inc.）以電漿式廢氣處理設備（Plasma Local Scrubber）在半導體聞名，取得全球最大晶圓代工廠近98%的壓倒性市占，在新竹、台中及台南均設有服務據點。
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