半導體化學機械研磨(CMP)製程的研磨機,由美商應材(Applied Materials)、日商荏原(EBARA)及東京精密(ACCRETECH)三分天下,在研磨液(Slurry)及研磨墊(Pad)方面,主要由陶氏集團(Dow Chemical)成員企業羅門哈斯(Rohm and Hass)獨霸市場,研磨墊更取得全球過半市占率。
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半導體化學機械研磨(CMP)製程的研磨機,由美商應材(Applied Materials)、日商荏原(EBARA)及東京精密(ACCRETECH)三分天下,在研磨液(Slurry)及研磨墊(Pad)方面,主要由陶氏集團(Dow Chemical)成員企業羅門哈斯(Rohm and Hass)獨霸市場,研磨墊更取得全球過半市占率。